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分析装置・計測システムへの搭載に対応!装置の小型化が可能な高性能ターボ…
分析機器向けの小型ターボ分子ポンプです。 補助ポンプに小型ダイアフラムポンプが使用できるため、装置を小型化でき、また完全姿勢自在であるため装置レイアウトの自由度も広がります。 小型・軽量・高性能が必要とされる分析・計測装置に適したポンプです。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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