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エッチング工程、CVD工程への使用に。高い熱伝導率の「窒化アルミ」、耐…
当社は、半導体製造の分野における、 熱特性や異物発生防止のニーズに応える特殊セラミック部品を提供しています。 窒化アルミは、最高220W/m・Kの熱伝導率で、最大φ500のプレートを提供可能です。 イットリアは、高い耐プラズマ性を備え、焼結材部品と溶射材をラインアップ。 溶射時には高い密着性により、パーティクル低減のニーズに対応可能です。 【特長】 ■窒化アルミは、半導体装置向...
メーカー・取り扱い企業: 千代田交易株式会社
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樹脂や特殊ベアリングもフルラインナップ!長寿命化やコスト削減、短納期サ…
アリングを“セラミック・樹脂化”することで、 7つのメリットを得ることができます。 ・耐腐食 ・軽量 ・非磁性 ・耐熱 ・絶縁 ・耐摩耗 ・ノーグリス 【主な採用例】 半導体製造装置/メッキ処理装置/真空装置/薬品撹拌装置/ 超音波モーター/フィルム製造装置/クリーンルーム など ★このほか大型や特殊ベアリングなど、種々の問題解決もサポートします。 詳しくはカ...
メーカー・取り扱い企業: 千代田交易株式会社
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