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ポンプの揺れを検知し、瞬時に自動で磁気軸受剛性を切替!
は、超低振動性能とMB剛性性能向上の両立を達成し、コントロール ユニットの小型化を図り、コンパクトにポンプ下に搭載したコントローラ 一体型ターボ分子ポンプです。 1KHzから2KHzでの周波数帯の最大振動ピークを抑制、また、ピーク振動のみ でなくベース振動の低減を図っています。 【特長】 ■低振動(1kHz~2kHz間の振動ピークを抑制) ■磁気軸受/自動剛性切替機能 ■...
メーカー・取り扱い企業: エドワーズ株式会社
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