テストルーム

超精密洗浄分野に特化したフッ素系洗浄をベースに、お客様のニーズに合わせ…

【分析機器仕様(一部)】 ＜YPI-Nシリーズ(自動搬送)ウェーハ表面検査装置＞ ■対応基板サイズ：最大200mm×200mm ■スキャン方式：X-Yスキャン／θ-Xスキャン(螺旋スキャン) ■スループット：□200mmを約4分／Φ200mmを約3分 ■ワーク装置：搬送ロボット(裏面...

メーカー・取り扱い企業： 新オオツカ株式会社 東京支店