工業･電子部品用露光装置

ガラスマスクとワークをアライメントし､微細なマスクパターンを転写する露…

半導体デバイス、各種センサーをはじめ、多様なデバイス分野での露光工程に 　用いられます。 ●研究開発から、小・中ロット製造用に最適です。 【両面マスクアライナー】 ●ウェハー、ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークを 　アライメントし、板上にコーティングされたフォトレジストにプロキシミティ 　及びソフトコンタクト露光にて、微細なマスクパターンを転写するマス...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社