UVナノインプリントステッパー

2～8インチウェハ対応！デバイス製作に必要な高精度アライメントを備えて…

【仕様】 ■型式：ImpFlex-Essential Stepper ■転写方式：UVナノインプリント ■適応ワーク：φ2～8インチ ■モールド：石英モールド、PDMSモールド ■レジスト塗布：スピンコータ又はインクジェットによる前処理 ■アライメント精度：1μm（アライメントマークサイズによる） ■外形寸法：1800（H）×760（W）×1160（D） ※詳しくはPDF資料を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森