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IonPOWDERによる粉体の革新的な表面処理。 粉体へのイオン注入…
特徴 ･多種のガスが使用可能（Ar, He, N2, O2, SiH4, 混合ガス） ･装置はレシピで動作可能 ･PVD(physical vapor deposition)機構も、増設できます。 プロセスの利点 低温表面処理：元の材料特性が保持されます。 コーテ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー
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