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加工時に試料を液体窒素冷却する事によりイオンビームによる熱ダメージを軽…
、加工時に試料を液体窒素冷却する事によりイオンビームによる熱ダメージを軽減させる事が出来ます。 冷却保持時間も長く、液体窒素の消費量を抑えた構造になっています。 〇特長 ・液体窒素を入れたまま、短時間で試料の冷却、室温戻し、取り外しが可能 ・大気非曝露環境下で、加工から観察までを行う為の搬送機構付き ・自動加工プログラム ・マルチパーパスステージ ※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、...
メーカー・取り扱い企業: アズサイエンス株式会社 松本本社
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