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プロセスの異なる試料表裏の一致した位置にパターン露光！ナノテックの露光…
【仕様】 ■アライメント形式 ・マスクー試料裏面または表面観察によるビデオメモリアライメント ■露光方式 ・1.1（等倍）コンタクト露光 ■適応試料 ・サイズ最大 BA100φ4インチ BA160Φ6インチ ■適応マスク ・サイズ最大 BA...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック
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