高速・可変パラボリックディフォーマブルMEMSミラー

任意に集光位置を設定できる可変パラボリックミラー

REVIBRO OPTICS社製MFCシリーズディフォーマブルMEMSミラーは、∞ <ｆ < 67mmの範囲で任意に集光位置を設定できる、可変パラボリックミラーです。反射部はφ2mmとφ4mmの二種類が選択でき、動作速度は200μsと高速です。従来のディフォーマブルミラーのように可動部にアクチェター等の物理的な駆動機構は用いておらず、同心円電極に電圧を加え発生する静電作用により、ミラー表面の金属薄...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ティー・イー・エム