ウエハ外観検査装置(ダイシング前)

検査精度に合わせた画像分解能が選択可能！高速かつ高精度な検査を実現

【仕様(例)】 ■カメラ 　・500万画素モノクロエリアカメラ(ミクロ検査) 　・1,200万画素モノクロエリアカメラ(マクロ検査) 　・2,500万画素モノクロエリアカメラ(アライメント) ■装置サイズ 　・1,350W×1,350D×1,800H mm 　・パトライト、HEP...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒューブレイン