2020版 薄膜作製応用ハンドブック

｢21世紀版薄膜作製応用ハンドブック｣から17年、基礎を押さえつつ、新…

■目次 第1編 薄膜材料の特性と特徴 　1章 薄膜の特徴と特性 　2章 薄膜材料の電気特性 　3章 薄膜材料の誘電特性 　4章 薄膜材料の固液界面特性 　5章 薄膜材料の磁気特性 　6章 薄膜材料の光学特性 　7章 薄膜材料の力学特性 　8章 薄膜材料の化学特性 第2編 薄膜の作製と加工 　1章 基板と表面処理 　2章 PVD法 　3章 CVD法 　4章 液相薄膜堆積法...

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