【事例】フィルタードアーク蒸着法によるDLC成膜の解析

お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能！複雑なモデルでも効率良く解析

『Particle-PLUS』は、プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・ 製造に適したシミュレーションソフトウェアです。 軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを 行う必要なく、 高速に結果を得ることが可能。 2D(2次元)、3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます。 【特長】 ■低圧プラズマ解析が得意 ■軸対称...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

2軸スクリューコンプレッサ流動解析

SimericsMP+とSCORGを用いた、熱流体解析の事例である2軸…

トの削減、実験による測定が難しい詳細なデータを得られるCFD。 この記事では、Simerics社製のCAE/CFDソフトを用いて、製品開発へお役立ていただける適用事例をご紹介します。 2軸スクリューコンプレッサーはエアコンや冷蔵庫を始めとした、冷凍空調関連等の用途があります。 設計する上では試作と実験に多くのコストと時間を費やす必要があります。 Simerics社製のC...

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2軸スクリューコンプレッサーのシミュレーション

SimericsMP+とSCORGを用いた、熱流体解析の事例である2軸…

トの削減、実験による測定が難しい詳細なデータを得られるCFD。 この記事では、Simerics社製のCAE/CFDソフトを用いて、製品開発へお役立ていただける適用事例をご紹介します。 2軸スクリューコンプレッサーはエアコンや冷蔵庫を始めとした、冷凍空調関連等の用途があります。 設計する上では試作と実験に多くのコストと時間を費やす必要があります。 Simerics社製のC...

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2軸スクリュコンプレッサーのシミュレーション

SimericsMP+とSCORGを用いた、熱流体解析の事例である2軸…

トの削減、実験による測定が難しい詳細なデータを得られるCFD。 この記事では、Simerics社製のCAE/CFDソフトを用いて、製品開発へお役立ていただける適用事例をご紹介します。 2軸スクリュコンプレッサはエアコンや冷蔵庫を始めとした、冷凍空調関連等の用途があります。 設計する上では試作と実験に多くのコストと時間を費やす必要があります。 Simerics社製のCFD...

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2軸スクリュコンプレッサ流動解析

SimericsMP+とSCORGを用いた、熱流体解析の事例である2軸…

トの削減、実験による測定が難しい詳細なデータを得られるCFD。 この記事では、Simerics社製のCAE/CFDソフトを用いて、製品開発へお役立ていただける適用事例をご紹介します。 2軸スクリュコンプレッサーはエアコンや冷蔵庫を始めとした、冷凍空調関連等の用途があります。 設計する上では試作と実験に多くのコストと時間を費やす必要があります。 Simerics社製のCF...

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2軸スクリューポンプのシミュレーション

SimericsMP+とSCORGを用いた、熱流体解析の事例である2軸…

トの削減、実験による測定が難しい詳細なデータを得られるCFD。 この記事では、Simerics社製のCAE/CFDソフトを用いて、製品開発へお役立ていただける適用事例をご紹介します。 2軸スクリューポンプはエアコンや冷蔵庫を始めとした、冷凍空調関連等の用途があります。 設計する上では試作と実験に多くのコストと時間を費やす必要があります。 Simerics社製のCFDなら...

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2軸スクリューポンプ流動解析

SimericsMP+とSCORGを用いた、熱流体解析の事例である2軸…

トの削減、実験による測定が難しい詳細なデータを得られるCFD。 この記事では、Simerics社製のCAE/CFDソフトを用いて、製品開発へお役立ていただける適用事例をご紹介します。 2軸スクリューポンプはエアコンや冷蔵庫を始めとした、冷凍空調関連等の用途があります。 設計する上では試作と実験に多くのコストと時間を費やす必要があります。 Simerics社製のCFDなら...

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2軸スクリュポンプのシミュレーション

SimericsMP+とSCORGを用いた、熱流体解析の事例である2軸…

トの削減、実験による測定が難しい詳細なデータを得られるCFD。 この記事では、Simerics社製のCAE/CFDソフトを用いて、製品開発へお役立ていただける適用事例をご紹介します。 2軸スクリュポンプはエアコンや冷蔵庫を始めとした、冷凍空調関連等の用途があります。 設計する上では試作と実験に多くのコストと時間を費やす必要があります。 Simerics社製のCFDなら、...

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2軸スクリュ圧縮機の流動シミュレーション

SimericsMP+とSCORGを用いた、2軸スクリュ圧縮機の流動シ…

トの削減、実験による測定が難しい詳細なデータを得られるCFD。 この記事では、Simerics社製のCAE/CFDソフトを用いて、製品開発へお役立ていただける適用事例をご紹介します。 2軸スクリュ圧縮機はエアコンや冷蔵庫を始めとした、冷凍空調関連等の用途があります。 設計する上では試作と実験に多くのコストと時間を費やす必要があります。 Simerics社製のCFDなら、...

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2軸スクリュ圧縮機流体解析事例

SimericsMP+とSCORGを用いた、熱流体解析の事例である2軸…

トの削減、実験による測定が難しい詳細なデータを得られるCFD。 この記事では、Simerics社製のCAE/CFDソフトを用いて、製品開発へお役立ていただける適用事例をご紹介します。 2軸スクリュ圧縮機はエアコンや冷蔵庫を始めとした、冷凍空調関連等の用途があります。 設計する上では試作と実験に多くのコストと時間を費やす必要があります。 Simerics社製のCFDなら、...

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【事例】Particle-PLUS 2周波CCP

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 Particle…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】「Particle-PLUS」2周波CCPのプラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「2周波CCPのプラズマ解析」シ…

CCP（容量結合プラズマ）装置のプラズマ解析に関する事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 電極が複数ある場合や重畳周波数を印加する場合に対しても 高速にシミュレーションを行うことができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレ...

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【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズ…

長い円筒パイプの内側に強い膜を成膜する方法のひとつである円筒標的を用いたマグネトロンスパッタの解析事例です Particle-PLUSで利用可能な 1)軸対称モデル 2)鏡面対称境界条件を組み合わせることで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく高速に結果を得ることができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界...

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【事例】「Particle-PLUS」RFマグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」…

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必...

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【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理

Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」…

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレー...

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事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解…

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する3Dでの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体...

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【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「AC マグネトロン…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】Particle-PLUS:誘電体標的のRFマグネトロン

Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンス…

プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、 RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレ...

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【事例】「Particle-PLUS」CCP装置の3次元解析

Particle-PLUS解析事例紹介 "容量結合プラズマ（CC…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「対向ターゲット式ス…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】『Particle-PLUS』円筒型マグネトロン装置

長い円筒の内側に強い膜を成膜する方法のひとつである、円筒標的を用いたマ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】「Particle-PLUS」対抗ターゲット式スパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "対面ターゲットを用いた…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】Particle-PLUS:3D対向ターゲット式パッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「対向ターゲット式パッタ(3D解…

基盤に低ダメージな成膜手法のひとつである、対向ターゲット式スパッタの解析事例です。 3D計算は、2D計算と比較して計算コストは大きくなりますが、 より複雑な形状とそこからの影響を考慮してシミュレーションを行えます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく...

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【事例】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCP

Particle-PLUS解析事例紹介 外部回路としてπ 型マッ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタ3D

「Particle-PLUS」は 真空チャンバ内のプラズマ解析を得意と…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】「Particle-PLUS」イオンビームの質量分析

Particle-PLUS解析事例紹介 "イオンビームの質量分析…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】Particle-PLUS ロールツーロールスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "回転ターゲットのマグネ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】Particle-PLUS　回転ターゲットのマグネトロン

カットセルメッシュを用いた回転ターゲットのマグネトロンスパッタシミュレ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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