乾湿粉体原料　連続式『混練・造粒機』※納入事例集進呈！

PR不等速２軸に各々配列の撹拌羽根で、付着性が高い対象物も効率よく混練・造…

　新日南『混練・造粒機』は、2500台以上の実績がある「ダウミキサー」ノウハウをもとに、製品化しました。 　 　混練機『ダウミキサーPX型』は、回転速度が異なる２軸（不等速2軸）にらせん状配列の1条/2条巻の多様なパドル構成（複数特許取得）で、セルフクリーニング効果が常に作用して付着性が高い対象物でも効率よい混練効果と圧密効果が得られます。また、この作用で等速2軸式では避けられない、繰返し応力...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社新日南 京浜事業所

廃水処理システム「AT-BCシステム」

PR低コストで廃水処理能力を大幅に向上可能！廃水処理設備を止めることなく増…

【増設】 「処理施設の能力不足」や「設置場所が無く増設が困難」といった悩みを AT-BC装置を既設槽上に載せるだけで一発解決！低コストで廃水処理能力を大幅に向上させることができます。活性汚泥法と回転生物接触法の２つの処理法を進化させた廃水処理システムです。 【特長】 ■廃水を止める事無く増設が可能　■工期は2週間程度 ■既設槽上にAT装置を載せるだけで能力が倍以上に ■設備投資費用は２...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社バチルテクノコーポレーション

3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

設備台帳整備の支援、設備の維持管理支援ソリューション

設備情報や故障履歴、報告書等の情報をデータ化し設備台帳を整備。LCCや…

大規模データやAI(人工知能／機械学習)を活用したメンテナンス手法が多くの企業から提案されており、効果についても多くの報告がありますが、一部の企業を除き、保全の現場では紙やExcel、Access、PDF等様々な形式での管理が主流であり、部署毎に管理されている情報も異なっています。 弊社では設備台帳の整備を通して以下のような目的に対応するためのサービスを提供しております。 1.保全シス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】フィルタードアーク蒸着法によるDLC成膜の解析

お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能！複雑なモデルでも効率良く解析

『Particle-PLUS』は、プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・ 製造に適したシミュレーションソフトウェアです。 軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを 行う必要なく、 高速に結果を得ることが可能。 2D(2次元)、3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます。 【特長】 ■低圧プラズマ解析が得意 ■軸対称...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ISO26262業務支援パッケージ

ISO26262業務支援パッケージは、Part3, 4に基づくPart…

・機能安全対応の業務にまだエクセルを使っていませんか。 ・故障率の計算やFMEDAへの引当に膨大な時間をかけていませんか。 ・FT図を一から手作業で作成していませんか。 =========そろそろツールを使ってみませんか========= 【ツール使用のメリット】 1.機能安全対応の業務フローを標準化し、属人性の問題を解消 2.安全要求、FMEDA、FTA間でIDの引継ぐことで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

半導体プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…

『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする ・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能 ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・ICP とCCP を同時にシミュレートすることが可能 ・2D(2次元),3D(3次...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

製品改善、運転条件の最適化、予兆保全システム

シミュレーション、統計解析、機械学習技術を活用し、設備のフィールドデー…

シミュレーション技術と信頼性評価、設備保全に関する知見を組み合わせ、データ収集・可視化から分析、製品の改善や運転条件の最適化、予兆保全に関わる仕組みの構築を支援致しております。 主な対象設備としては ・各種プラント ・半導体製造装置 ・空調システム 等が挙げられます。 本検討にはお客様のご要望、目的に応じて以下のようなツール、システムを使い分け仕組み構築をサポートします。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ギヤポンプやベーンポンプ、弁の解析『SimericsMP+』

解析出来ると言って実際は出来ないソフトや、出来るけどメッシュ作成などに…

SimericsMP+は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、弁の解析に非常に強みを持つ、流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション(CFD)ソフトです。 【以下の流体解析(CFD)が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポンプの流れと弁やカムリングの剛体運動との連成 ■低中真空状態の流れ ■圧縮性流れ（亜音速） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

タブレット型電子帳票システム【※建設業向け導入事例付き資料】

めんどうな手書き紙管理止めませんか？ペーパーレス化で1日約25％作業短…

タブレット型電子帳票システム「i-Reporter」は製造業、建設業における設備点検や品質チェック、報告書、検査、点検チェック、業務報告等で使用されるExcelベースの帳票をそのまま電子化！iPad、iPhone、Windows上での活用を可能とします。現場で簡単にミスのない入力により業務の生産性を向上させ、貴社の働き方改革を促進させます。 【こんなお困りごとを解決】 ◆手書き紙管理により...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

オイルポンプに強い流体解析ソフトウェア Simerics MP+

歯車ポンプ・ベーンポンプ等容積型ポンプの流動特性をシミュレーション！ …

Simerics MP+ は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。 熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

予測モデル構築ソフトウェア『Neural Designer』

AI（深層学習）による予測モデル、サロゲートモデルを簡単に構築可能。日…

『Neural Designer』は、深層学習を用いた予測モデルを 簡単に構築できるプログラミング不要のアプリです。 近似モデル・分類モデル・時系列予測モデルの3つの予測モデルの作成に対応。 （特に近似モデルは回帰モデル、サロゲートモデルとも呼ばれます） 各種測定データ、各種シミュレーション結果を使用して、 ニューラルネットワークによる予測モデルを構築。 シミュレーションの大幅...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

予測モデル構築ソフトウェア『Neural Designer』

画面上で深層学習の予測モデル、サロゲートモデルが構築可能！多目的最適化…

『Neural Designer』は、データサイエンスと機械学習のための プログラミング不要のアプリです。 AI(深層学習)による予測モデル、サロゲートモデルを簡単に 構築することが可能。対応している予測モデルとしては近似モデル、 分類モデル、時系列予測モデルの3つがあります。 当製品を使用すれば、一週間程要していたシミュレーションが、 僅か数秒から数分で解が得られるため、計算...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

実験データの活用に 電子実験ノートBIOVIA Notebook

マテリアルズインフォマティクス(MI)取り組みに! 簡単&使いやすい…

◆マテリアルズインフォマティクス(MI)取り組みに! 電子実験データを活用する事により、機械学習などMIの取り組みが可能になります。 1)簡単に導入・運用できる電子実験ノート(ELN)です 2)シンプルシンプルな操作なので、システム開発専任者がいなくてもソフト活用を可能にします (4,000ユーザでの運用でも専任不要の実績あり) 3)拡張性:他ソフトとの連携が可能 ◇主な特徴 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

現場の見える化遠隔臨場支援ツール「VSight Remote」

インフラ分野のＤＸを推進し建設現場の働き方改革、生産性をUP 専門家…

『VSight Remote』は、現場での作業に対して遠隔地にいる専門家や技術者が リアルタイムでの動画を通じて作業の支援を行えるツールです。 操作が非常に簡単であるため、スマートフォンやスマートグラスがあれば 導入後すぐに利用が可能。 専門家が現場に直接出向くことなく各作業のサポートができるため 移動時間や場所の制限を受ける事がありません。 【特長】 ■写真や動画、ファ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【解析事例】ベーンポンプの過渡流動解析

ポンプ過渡流動特性シミュレーター PumpLinxの活用により、ベーン…

PumpLinxは、様々な型式のポンプのメッシュテンプレートを有しています。解析対象のポンプ型式に応じたテンプレートを用いることで、通常ポンプの流体解析を行う上で多くの時間と労力を費やすメッシュ生成作業が、大幅に短縮・省力化できます。例えば、複雑な機構を持つ、ベーンポンプについても、3DCADデータをベースに、ベーン数等を設定することで、同ポンプの解析に最適なメッシュを自動で素早く生成します。加え...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

説明可能な機械学習ソフトウェアのセミナー資料をプレゼント！

受託開発不要！すぐに使用できる機能を標準で提供する機械学習ソフトウェア…

このような事でお困りではありませんか？ ◆機械学習によって構築されたアルゴリズムの内容が理解できない／説明できない ◆機械学習を検討しろと言われているけど、すぐに使えるツールとして提供されているものが少ない ◆プロジェクトの実施の提案を受けるが費用が高額で手が出ない…等 「SPMを使用した機械学習, 及び, コンクリート強度の予測分析セミナー資料」ではコンクリートを例にとり、 ◆なぜ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例紹介】コーティング材料メーカー様MIでの機械学習事例

『Pipeline Pilot』を利用した機械学習の活用事例を紹介しま…

今回は、特性値を予測することで最適な実験条件の傾向を掴むことを目的としました。 <背景> 従来から現代にかけて、どの分野に関わらずより良い特性値をもつ材料を開発することは重要な業務であり、かつ重要な課題でもあります。 また、材料の特性値は様々な要因によって左右されてしまうため材料開発の効率化も求められています。 例えば、材料開発時に使用された素材や反応時間、そして温度、ヒステリシスのよう...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

可視化ツール『MotionBoard』豊富な機能搭載

導入実績2000社以上！MotionBoardなら可視化・分析を身近に

専門的で複雑なプログラミング知識は必要ありません。 マウス操作のみで、表現力豊かなダッシュボードを作成することができます。 ■ 機能1　30種類以上のチャート 使いなれた基本的なチャートや集計表はもちろん、 パレート図・ヒートマップ・散布図など豊富なチャートを搭載しています。 製造業向けには管理図やガントチャートなど、業務にあわせた可視化表現が可能です。 ■ 機能2　10種類以...

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【資料】MotionBoardが解決できる課題

営業・生産・企画部門それぞれのお悩みに対応！BIダッシュボード「Mot…

「チームの現状をタイムリーに把握し、売上向上の施策をうちたい。」 「紙で管理している為、稼働状況は日報でしかわからない。」 といった課題を感じたことはございませんか？ これらは、データの可視化とデータによる駆動で企業のパフォーマンスを 高めるBIダッシュボード『MotionBoard』で解決することが可能です。 当資料では、MotionBoardについてを詳しくご紹介しております...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

『MotionBoard』でデータ収集・結合・蓄積

様々なデータソースとリアルタイムに連携！

MotionBoardはデータ活用に必要な機能を1つのプラットフォームで提供するBIツールです。 社内に散在したデータを集約するための充実した機能を提供します。 ■ 機能1　豊富なデータソースコネクター 60種類以上のデータソースへの接続が可能です。 ダッシュボード上に分析・意思決定・業務遂行に必要なデータを集約することで、 ビジネスのスピード・正確性を向上させます。 ■ 機能...

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MotionBoardでレポート作成・配信を楽々に

レポート作成・配信や、変化のキャッチも自動で実行。！

MotionBoardでレポート作成業務の時間を短縮し、 ビジネスにおける報告業務の基盤としてお使いいただけます。 ■ 機能1　レポート出力・配信 ダッシュボード上のアイテムをExcel・PowerPointに出力・配信できます。 日々のレポート作成・配信業務を自動化します。 ■ 機能2　アラート機能 あらかじめ設定したしきい値をもとに状況をモニタリングします。 センサーデー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

技術資料vo.1『信頼性中心保全(RCM)とCMMSとは』

【無料進呈】メンテナンス業務の管理・改善及び効率化に寄与するCMMSや…

科学技術・エンジニアリングシミュレーションの ソフトウェア開発・販売からコンサルティングまで幅広く手がける当社から、 ノウハウを凝縮した技術資料『信頼性中心保全(RCM)とCMMS』を無料プレゼント中！ 信頼性中心保全とは？という基礎知識から 故障の特性や最適なメンテナンス方式の判断方法など、 CMMSやEAMの導入にかかせないコツなどをたっぷり掲載。 信頼性中心保全(RCM)...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【資料】ストリーマー放電計算の最適化

「VizGlow」を使用し解説！説明変数と目的変数や最適化がどのように…

資料では『ストリーマー放電計算の最適化』について詳しく解説しています。 「ストリーマー放電計算」をはじめ、「説明変数と目的変数」、 「最適化がどのように進むか」な掲載。 最適化とシミュレーションを組み合わせる例として、プラズマ装置の 動作条件の探索を行うため、プラズマ装置のシミュレーションには、 当社取り扱いソフトの「VizGlow」を用いています。 【掲載内容（抜粋）】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【資料】Liイオン充電池のサイクル寿命予測についての報告

ワークフローの可視化を実現するツールを使用したサイクル寿命予測について…

当資料では、Pipeline Pilotを用いて機械学習をした場合における Liイオン充電池のサイクル寿命予測についての報告を掲載しております。 「背景」、「流れ」、「結果」、「考察」をそれぞれご紹介。 Pipeline Pilotは、大量なデータ処理や解析、作業の自動化や ワークフローの可視化を実現するツールです。 【掲載内容】 ■背景：(1)Liイオン充電池とそのサイク...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」CCP装置の3次元解析

Particle-PLUS解析事例紹介 "容量結合プラズマ（CC…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタ3D

「Particle-PLUS」は 真空チャンバ内のプラズマ解析を得意と…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS:3D対向ターゲット式パッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「対向ターゲット式パッタ(3D解…

基盤に低ダメージな成膜手法のひとつである、対向ターゲット式スパッタの解析事例です。 3D計算は、2D計算と比較して計算コストは大きくなりますが、 より複雑な形状とそこからの影響を考慮してシミュレーションを行えます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

粒子法3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解…

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する3Dでの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

機器カルテの構築、設備の維持管理支援ソリューション

設備情報や故障履歴、報告書等の情報をデータ化し機器カルテを作成。LCC…

大規模データやAI(人工知能／機械学習)を活用したメンテナンス手法が多くの企業から提案されており、効果についても多くの報告がありますが、一部の企業を除き、保全の現場では紙やExcel、Access、PDF等様々な形式での管理が主流であり、部署毎に管理されている情報も異なっています。 弊社では機器カルテの構築を通して以下のような目的に対応するためのサービスを提供しております。 1.保全シ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

『Particle-PLUS』はCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適した シミュレーションソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とする ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析 ・自社開発ソフトの強みとして 標準機能でのCC...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はマグネトロンスパッタ装置を得意とする …

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ICPにも対応 解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…

『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする ・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能 ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・ICP とCCP を同時にシミュレートすることが可能 ・2D(2次元),3D(3次...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

CVD装置用　解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

『Particle-PLUS』はCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適した シミュレーションソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析 ・自社開発ソフトの強みとして 標準機能でのCCP,マグ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS 2周波CCP

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 Particle…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」RFマグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」…

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理

Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」…

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズ…

長い円筒パイプの内側に強い膜を成膜する方法のひとつである円筒標的を用いたマグネトロンスパッタの解析事例です Particle-PLUSで利用可能な 1)軸対称モデル 2)鏡面対称境界条件を組み合わせることで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく高速に結果を得ることができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「AC マグネトロン…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS:誘電体標的のRFマグネトロン

Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンス…

プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、 RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」2周波CCPのプラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「2周波CCPのプラズマ解析」シ…

CCP（容量結合プラズマ）装置のプラズマ解析に関する事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 電極が複数ある場合や重畳周波数を印加する場合に対しても 高速にシミュレーションを行うことができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「対向ターゲット式ス…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『Particle-PLUS』円筒型マグネトロン装置

長い円筒の内側に強い膜を成膜する方法のひとつである、円筒標的を用いたマ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社