汎用生産機『iDS500』

設置環境の静粛性を向上！ダスト対策のオプションもご用意しております！

■ガス系統：標準4系統 ■ヒーター：標準装備 ■温度モニター：標準装備（熱電対計測2か所） ■主排気ポンプ：ターボ分子ポンプ ■制御システム：全自動 ■推奨設置スペース：W5500×D5800×H3000 [mm] ■重量 　・装置本体：約3.6t 　・電源盤、制御盤：約2.1t ■主なオプションシステム 　・ダスト飛散防止ブース 　・蒸発源シャッター ※詳しくはPD...

メーカー・取り扱い企業： 日本アイ・ティ・エフ株式会社