ジボラン専用圧力調整器『S-TORRV1900シリーズ』

接ガス部のネジ構造を排除！パーティクル低減を実現したジボラン専用圧力調…

『S-TORRV1900シリーズ』は、内部リークを抑えるため、デカボランの 生成しづらい好適な中間圧に設計されたジボラン専用圧力調整器です。 本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール 構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して お使いいただけます。 S-TORR調整器は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いている TORR...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

圧力調整器『TORR-2800/2800SHシリーズ』

一次室の流路にフィルターを内蔵している液化ガス、腐食性ガス用大流量機種

『TORR-2800/2800SHシリーズ』は、腐食性、液化ガスを大流量で 供給するための調整器です。 Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。 【特長】 ■“半導体ガス用圧力調整器の代名詞”とも言える圧力調整器 ■組立は全数0....

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

半自動切替装置『プリンスチェンジャーPC150S-MP-M/P』

純度維持性能が向上！分析用・一般ガス用のSUS製半自動切替装置

『プリンスチェンジャー PC150S-MP-M/PC150S-MP-P』は、中圧（0.7MPa） 供給タイプの半自動切替装置です。 最大で0.7MPaまで供給可能でありながら“高圧ガス製造設備”の対象外となる 中圧式半自動切替に待望のステンレス仕様がラインアップ。 二段側減圧弁は新設計の低圧力損失仕様品を採用し、流量は150～250L/minを 実現しました。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

圧力調整器『TORR-Hシリーズ』

電解研磨仕様品の製作も可能！Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実…

『TORR-Hシリーズ』は、二次側の高圧制御が可能な機種です。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 電解研磨仕様品の製作も可能で、Heリークテストを含め、出荷検査を 全数に実施しています。 【特長】 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■一次室の流路にフ...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-1300シリーズ』

一次側高圧用標準機種！電解研磨仕様品の製作も可能な高純度ガス用圧力調整…

『TORR-1300シリーズ』は、長い実績により高い信頼を頂いている "半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 一次高圧用の標準機種としてシリンダーキャビネットなどの一次減圧設備に 広くご使用いただいております。 【特長】 ■一...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部