精密流量計測用　高精度流量計

精密流量計測が可能に！

O2,H2,He,Ar,CO2 ■流量レンジ：0.5〜5ML/minから3〜30L/min ■精度：FS ±2%（計測ポイント） ■耐圧 　・100ML/min以下　1.0Mpa 　・5L/min以下　0.7Mpa 　・10L/min以下　0.5Mpa ■接続口：Rc1/4” ■環境温度：Max60℃ □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

高圧用　汎用型アナログマスフローコントローラー　5850E

半導体ウエハプロセス、LCDプロセス、光ファイバプロセス、一般研究用な…

コストパフォーマンスを徹底追及した、アナログマスフローコントローラ...【特徴】 ■汎用ガスラインに最適 ■メーカー：ブルックスインスツルメント株式会社 ■仕様：精度±1% F.S.　応答性3秒以内(F.S.±2%到達) ■ガス種：ご注文時にご指定 ■流量範囲：フルスケール　30mL/min〜30L/minでご注文時にご指定 　フルスケールが10〜100L/min対応モデルの5851...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

高圧用　スマートシリーズマスフローコントローラ　SLA5850

アナログとデジタルの両方のインターフェイスを搭載

特徴的なバルブ構造により 30MPaまでの超高圧仕様にも対応可能な、マスフローコントローラ...【特徴】 ■ナログインターフェイス：0〜5V、4〜20mA ■デジタルインターフェイス：RS485(HARTベース) ■オプションでDeviceNet、FOUNDATION Fieldbusにも対応 ■メーカー：ブルックスインスツルメント株式会社 ■仕様：精度 ±1.0％R(20〜100％F...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

コリオリ式　液体・ガス用マスフローコントローラ

画期的設計 (特許)のコリオリ式質量流量センサを採用

計測が困難とされる小流量の液体分野において 比類ない高精度とゼロ安定性を提供する、液体・ガス用マスフローコントローラ...【特徴】 ■コリオリ式質量流量センサの採用により、流体の種類や 　プロセス変量(粘度、密度等)の影響を受けることなく流量を測定することが可能 ■メーカー：ブルックスインスツルメント株式会社 ■仕様：精度±0.5% Rate　オプション±0.2% Rate ■流体名...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

精密流量計測制御用　精密ニードル弁付流量計

精密流量計測制御用に最適

N2,O2,H2,Ar,CO2 ■流量レンジ：0.5〜5ML/minから3〜30L/min ■精度：FS ±2%（計測ポイント） ■耐圧 　・100ML/min以下　1.0Mpa 　・5L/min以下　0.7Mpa 　・10L/min以下　0.5Mpa ■接続口：Rc1/4” ■環境温度：Max 60℃ □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所