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ウェハの欠陥目視検査を自動化を実現
■以下のご要望・お困りごとにお応えする装置です! ・ウェハ(基板)の欠陥目視検査を自動化したい。 ・検査員ごとの合否判定ばらつき低減、防止したい。 ・検査データの保存、品質のトレースを行いたい。 ・自動で欠陥弁別したい。 ■装置の特長 ・目視可能な欠陥を自動で検出、抽出、弁別できます。 ・欠陥種類に合わせて最適化した光学系の提案が可能です。 ・手動機/自動搬送(カセットtoカセット)とも提案可能...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クボタ計装
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