ウエハーセンス　サイバーオプティクス製　製造装置改善用測定センサ

ウエハーセンスは装置改善に好適な測定器です。客観的な測定を行い、改善効…

一性と歩留まり向上を実現します。 ◆オート振動システム(AVS) プロセス装置の中を自動搬送させて3軸の加速度と振動を測定する事ができます。 ◆エアボーンパーティクルカウンタ（APS） プロセス装置内で搬送され、装置内部の気中パーティクルをモニタリングする事ができます。 ...

メーカー・取り扱い企業： JFE 商事エレクトロニクス株式会社