【導入事例】半導体製造装置（グローブBOX）の露点測定

装置内雰囲気や装置に供給するガスの露点測定に使用した事例の紹介！

ガスや空気に含まれている水分を測定する『露点計』を導入し、半導体製造装置 （グローブBOX）の露点測定を行った事例をご紹介します。 半導体製造過程で使用されるガスは高純度が求められる場合が多く、ガス中の 水分含有は製造品の品質に大きく影響を及ぼします。 製品製造装置など、...

メーカー・取り扱い企業： 日本冶金化学工業株式会社