CVD法 | イプロス医薬食品技術

『Particle-PLUS』はマグネトロンスパッタ装置を得意とする …

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする粒子…

『Particle-PLUS』はCCPにも対応したプラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したシミュレーションソフトウェアです・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とする・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析・自社開発ソフトの強みとして標準機能でのCC...

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半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト

ガス流れや薄膜生成のシミュレーションに。大規模形状でも短時間計算

当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションに活躍。お客様のニーズに合わせた対応も可能です。【ラインナップ】《希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』》 ■非構造メッシュに対応しているため、複雑な形状の計算に対応 ■装置内全体のガス流れの...

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ICPにも対応解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする粒…

『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応したプラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析・ICP とCCP を同時にシミュレートすることが可能・2D(2次元),3D(3次...

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【事例】Particle-PLUS 2周波CCP

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 Particle…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

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【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介「AC マグネトロン…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

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【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッ…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)...

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【事例】『Particle-PLUS』円筒型マグネトロン装置

長い円筒の内側に強い膜を成膜する方法のひとつである、円筒標的を用いたマ…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

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【事例】「Particle-PLUS」対抗ターゲット式スパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "対面ターゲットを用いた…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

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【事例】「Particle-PLUS」CCP装置の3次元解析

Particle-PLUS解析事例紹介 "容量結合プラズマ（CC…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

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【事例】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介「対向ターゲット式ス…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

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【事例】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCP

Particle-PLUS解析事例紹介外部回路としてπ 型マッ…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

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【事例】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタ3D

「Particle-PLUS」は真空チャンバ内のプラズマ解析を得意と…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

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【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理

代表的なドライエッチング手法のひとつである CCP（容量結合プラズマ…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ...

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【事例】『Particle-PLUS』RFマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、RFマグネト…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、　高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。・低圧プラズマ解析を得意とします・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(...

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【事例】「Particle-PLUS」イオンビームの質量分析

Particle-PLUS解析事例紹介 "イオンビームの質量分析…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

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【事例】Particle-PLUS ロールツーロールスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "回転ターゲットのマグネ…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

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【事例】Particle-PLUS　回転ターゲットのマグネトロン

カットセルメッシュを用いた回転ターゲットのマグネトロンスパッタシミュレ…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

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高機能表面処理『DLCコーティング』 ※用途事例集プレゼント

低摩擦＆高硬度！自動車部品、切削工具、金型などに適用可。低燃費化や磨耗…

庭用温水栓、工業用ミシン部品、カメラ筐筒Oリング、Al加工用工具等の　多岐にわたる量産実績があり、様々な用途・形状に応じた量産ノウハウを保有 ■プロセスと膜種・PVD法およびプラズマCVD法の両プロセスでの対応が可能・水素含有DLCから水素フリーDLC、Si添加DLC等、様々な膜種あり・高分子材料から金属・セラミックまで、幅広い基材材質にコーティング可能で　用途・目的に応...

メーカー・取り扱い企業：日本アイ・ティ・エフ株式会社