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｢21世紀版薄膜作製応用ハンドブック｣から17年、基礎を押さえつつ、新…
薄膜材料の磁気特性 6章 薄膜材料の光学特性 7章 薄膜材料の力学特性 8章 薄膜材料の化学特性 第2編 薄膜の作製と加工 1章 基板と表面処理 2章 PVD法 3章 CVD法 4章 液相薄膜堆積法 5章 有機・高分子・生体関連薄膜作製法 6章 パターン化技術 7章 薄膜の加工／改質技術 第3編 薄膜・表面・界面の分析・評価 1章 薄膜・表面・界面...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エヌ・ティー・エス
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