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    【分析事例】深紫外LED中Mgの深さ方向濃度分析

    様々なAl組成のAlGaN中不純物の定量が可能です

    SIMS分析で不純物濃度を求めるためには、分析試料と同じ組成の標準試料を使うことが必要です。紫外LEDやパワーデバイスに使われているAlGaNについて、様々なAl組成のAlGaN標準試料を取りそろえることで、MSTではより精度の高い不純物の定量が可能です。 市販深紫外LEDを解体後、SIMS分析を行い、ドーパントのMgの濃度、及び主成分のAl組成の分布を求めた事例を紹介いたします。 測定法:S...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

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