測定球『ミニチュアゲージ』

取付場所の選定が容易！プロセス圧力(1Pa台が測定可)までの圧力計測が…

ージの性能を損なうことなく小型化(従来の1/20当社比)。 到達圧力からスパッタ等のプロセス圧力(1Pa台が測定可)までの 圧力計測が1つのゲージで行なえます。 【ラインアップ】 ■MG-2 ■MG-2M ■MG-2I/NW16、25 ■MG-2I/φ34ICF、φ70ICF ■MG-2F ■MG-2WF ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社