フロアーコーチ「KOACH Ex-F」（FERENA搭載）

ガイドスクリーンを使用することで、より広い空間をスーパークリーン化！

『KOACH Ex-F』は、ガイドスクリーンを使用することで、より広い空間をスーパークリーン化できるフロアーコーチです。 フード前方にトンネル型のガイドスクリーンを設置することにより、大空間のスーパークリーンルームが誕生しました。 清浄度はISO クラス1、施工完了時は0.1 μm（10個/m³）、全換気時間は360秒（3段×10列、設定風速：0.3 m/sec時）となっています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 関東化学株式会社 電子材料事業本部