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6インチと8インチのウエハーに対応!平行平板方式のプラズマ処理装置
【仕様】 ○処理方式:平行平板プラズマ励起方式(DP/RIE切替可) ○処理室:AL製(シングルチャンバー) ○RF電源:600W 13.56MHz オートチューニング ○処理ガス →O2:1000SCCM →CF4:500SCCM →1系統増設可(オプション) ○パージガス:N2 ○スループット:3...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エスクラフト
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