超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV02シリーズ』

小型のアウトレットパネルを設計可能！装置への組み込みにも好適な圧力調整…

『S-TORRV02シリーズ』は、本体径φ35、標準面間70.5mmという 非常に小型の圧力調整器です。 接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現。Heリークテストを含め、 出荷検査を全数に実施しています。 腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した 「SHシリーズ」をご用意し...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部