炭化ケイ素（SiC）　セラミックス

SiCは共有結合性が強いセラミックスで、アルミナを上回る硬度があります…

硬度が高いため、摺動摩耗に強い特性も兼ね備えています。　 熱伝導率も高いです。　 炭化珪素(SiC)は、半導体製造装置やLED製造装置などのチャンバー内部品、エッチング装置用基板トレーや、焼成用治具(コンデンサー他）　などに使われています。　　炭化珪素(SiC)は、耐熱（1,000度以上でも）性や耐薬品性（耐プラズマ性）、耐磨耗熱伝導率の良さ、緻密さ、強度が生かされています。　　こんな使い方は...

メーカー・取り扱い企業： アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部

多孔質セラミックス

多孔質セラミックスとは、たくさんの気孔（ポーラス）があるセラミックスの…

アスザック株式会社　ファインセラミックス事業部では多孔質セラミックスを手がけ始め、材質として、多孔質アルミナ・多孔質SiCの2種類を取り揃えております。　　現在 数種類のラインナップがあり、用途別に皆様のご要望にお応えしています。　　独自の成形技術により自由な気孔径、気孔率が可能な多孔質セラミックスを提案します。 　　 多孔質セラミックスは、薄いウエハ・薄いフィルムなどの吸着治具として使用されて...

メーカー・取り扱い企業： アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部