ALICAT OEM供給用小型ローコストマスフローコントローラー

BASISシリーズ！ 対応ガスはAirを含めて8種類。

ALICAT（アリキャット）社の標準制御バルブおよびPIDアルゴリズムと組み合わせたMEMSセンサーを使用し質量流量測定を行います。 ■100msの制御応答 ・PD制御により短時間で目標流量へ到達。流量変化にすばやく追従し、安定性のある流量制御を行います。 ・ウォームアップ時間は70ms。すぐの稼動が可能です。 ■アナログ出力/入力、RS-485通信を標準搭載 ・0-5VDC入力...

メーカー・取り扱い企業： 日本スターテクノ株式会社