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簡単で親切なタッチ画面操作!上位システムからの遠隔操作が可能な自動圧力…
『MGCS-11』は、静寂なバルブ動作で安定した制御性を実現した 自動圧力制御コントローラです。 オートチューニングによりPIDパラメータは自動的に素早く最適化。 簡単で親切なタッチ画面操作と上位システムからの遠隔操作が可能です。 成膜、エッチングをはじめとする電子デバイス製造プロセスや真空乾燥、 脱気プロセスの定圧コントロールに適しています。 【特長】 ■電源投入で自動...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社美幸輝
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