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2~8インチウェハ対応!デバイス製作に必要な高精度アライメントを備えて…
lex-Essential Stepper ■転写方式:UVナノインプリント ■適応ワーク:φ2~8インチ ■モールド:石英モールド、PDMSモールド ■レジスト塗布:スピンコータ又はインクジェットによる前処理 ■アライメント精度:1μm(アライメントマークサイズによる) ■外形寸法:1800(H)×760(W)×1160(D) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社三明 本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所
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