ナノ粒子連続測定装置

世界初！インラインでナノ粒子が測定できるのはこの装置だけ！サンプル希釈…

ATとして連続プロセス管理が可能 ・独自技術により懸濁液にも対応 ・非接触なので無菌プロセスにも理想的 ・従来よりも分析時間を90%以上短縮 ・従来と比較して圧倒的な高速データ処理によりインライン測定が可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

RF　スペクトラルメータ

RFインラインを乱すことなく、チャンバー内の様々な異常を検知し、歩留り…

アンテナをプラズマ処理装置ウィンドに取り付けるだけで装置内の異常が検知可能です。 ...・装置内のガスクリーニングの終わりを検知できます。 ・ウェハのハンドリングミスやガスリーク、圧力変化、電力変化も検知できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー