【技術セミナー】薄膜技術の高度化と素材デバイスへの応用の最新動向

薄膜形成・品質制御の高度化から先端分野の最新活用事例まで

わり、蒸着、スパッタ、めっき、エッチング、フォト／電子線リソグラフィ、コンバーティング、表面分析に関する技術経験を有する。 薄膜プロセスは半導体用バッチ試作機による基礎開発から世界最大クラスのインライン、ロールツーロールなどを経験。薄膜特性安定化、信頼性向上、微小欠陥対策、装置稼働率改善、メンテナンス改善、コスト低減など、生産性向上の豊富な知見を有する。現在は主に各種次世代デバイス用の薄膜の設...

メーカー・取り扱い企業： 日本アイアール株式会社