発塵検査装置

清浄度検査に新提案、エアブローで発塵・付着粒子を迅速検査

発塵検査装置PARTi（PERSYS社製）は、クリーンルーム内で使用する（クリーンルームに持込む）物の清浄度を迅速に検査することができる新提案の発塵検査装置です。精密加工部品・試料容器・無塵衣・グローブ類などを専用チャンバー内に設置して、HEPAフィルターを通過さえたクリーンなエアーでブローして付着粒子を吹き飛ばし、装置下部搭載のパーティクルカウンターで発塵を計測します。検査物の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東京インスツルメンツ