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【技術セミナー】薄膜技術の高度化と素材デバイスへの応用の最新動向
薄膜形成・品質制御の高度化から先端分野の最新活用事例まで
フォトマスク、タッチパネル、次世代FPD用薄膜の技術開発に従事。 現在、技術士事務所ソメイテック、アイアール技術者教育研究所所長。 電子デバイス・半導体技術に携わり、蒸着、スパッタ、めっき、エッチング、フォト/電子線リソグラフィ、コンバーティング、表面分析に関する技術経験を有する。 薄膜プロセスは半導体用バッチ試作機による基礎開発から世界最大クラスのインライン、ロールツーロールなどを経験。...
メーカー・取り扱い企業: 日本アイアール株式会社
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