- 製品・サービス
5件 - メーカー・取り扱い企業
企業
52件 - カタログ
171件
-
-
SPH法による噴霧とエッチング解析!図を用いてわかりやすくご紹介してい…
当資料は、SPH法による噴霧とエッチング解析について ご紹介しています。 最初に、エッチング液の首振り噴霧をシミュレーションします。 次に、エッチング液が銅板に噴霧された後、エッチング液と銅の イオン化反応により、銅板の削...
メーカー・取り扱い企業: エイシーティ株式会社 本社
-
-
最適条件の探索に!多次元表示チャートの活用事例をご紹介!
詳細化学反応解析プログラムCHEMKINと連成した、 エッチングプロセス最適条件の探索事例をご紹介します。 問題設定としては、原料ガス供給量SCCM、酸素濃度を変化させ、 出口C2F6濃度、CF4濃度がそれぞれ最小となり、 エッチング速度最大(膜生...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社IDAJ
-
-
事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析
Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解…
代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP(容量結合プラズマ)エッチングに関する3Dでの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などの...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理
Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」…
代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP(容量結合プラズマ)エッチングに関する解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーシ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理
代表的なドライエッチング手法のひとつである CCP(容量結合プラズマ…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
- 表示件数
- 30件
- < 前へ
- 1
- 次へ >
※このキーワードに関連する製品情報が登録
された場合にメールでお知らせします。