卓上型サーマル式 / プラズマ支援 原子層堆積（ALD）装置

Arradiance社製卓上型ALD装置　卓上型ながらプラズマユニット…

造物 粉体、カーボンナノチューブ（CNT）やグラフェンにも成膜可能 チャンネル数 最多8種類のプレカーサ装備が可能 チャンバー温度 最高300℃（オプション450℃） オプション オゾン発生器、 リモートプラズマ装置、 紛体コーティング治具（量子ドットやナノパーティクルへコーティング）、 Load Lockもございます。 詳細はお問い合わせください。 （成膜サービス（有償）も実...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイチ・ティー・エル HTL（エイチティーエル）