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X-Y-Z-θx-θy-θzの全方向において、高精度アライメント(ター…
【仕様】 ■RSTZ-003 テーブルサイズ:Φ500mm 透過穴:Φ250mm 耐荷重:300kgf(均等荷重時) モータ型式:PK513-H100S(オリエンタルモーター) 駆動ユニット分解能:0.02μm 軸方向最大ストローク※:X軸±15mm、Y軸±17.5mm、Z軸±7.5mm ...
メーカー・取り扱い企業: 神津精機株式会社
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