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X-Y-Z-θx-θy-θzの全方向において、高精度アライメント(ター…
【仕様】 ■RSTZ-003 テーブルサイズ：Φ500mm 透過穴：Φ250mm 耐荷重：300kgf（均等荷重時） モータ型式：PK513-H100S（オリエンタルモーター） 駆動ユニット分解能：0.02μm 軸方向最大ストローク※：X軸±15mm、Y軸±17.5mm、Z軸±7.5mm ...
メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社
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