ディスクチッピング検査装置　DSiS-2015

ガラス基板、メディア表面、エッジ部のチッピング、汚れ等を、高速・高精度…

ことが可能。 ・スループット　～800PPH（検査条件による） ・フットプリント 　　本体： 　　(W) 1380 × (D) 1700 ×(H) 2100 mm 　　(W) 1810:カセット受渡部を含む 　　ＰＣラック： 　　(W) 570 × (D) 630 × (H) 1850 mm ・クリーン度　クラス10（＠0.1μm） ・自動搬送システムに対応 検査仕様 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クボタ計装

ウェーハ表面欠陥検査装置『Laser Explorer』

透明ウェーハも高速検査！高出力レーザーが微小な傷・パーティクルを検出！

力レーザーが、スクラッチ・ピット・パーティクルなどの微小欠陥を検出！ ウェーハの出荷・受入検査や、エピタキシャル工程の品質管理に活用いただけます！ 【その他の特長】 ■高スループット（1カセット25枚を、約40分で検査） ■欠陥の凹凸を弁別 ■全数オートフォーカス ■カスタマイズ対応 ■1カセット自動検査対応 ■欠陥に対する高精度マーキング（オプション） ■レーザー顕微鏡によ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クボタ計装

ハードディスク表面欠陥検査装置　Laser Explorer

ハードディスク表面のスクラッチ、ピットなどの微細な表面欠陥を検出

ます。 特長 ・高出力レーザーによる微小欠陥の検出 ・高いスクラッチ検出能力 ・欠陥の凹凸を弁別 ・全数オートフォーカス ・優れたコストパフォーマンス ・カスタマイズ対応 ・1カセット自動検査対応 ・透明ガラス基板対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クボタ計装