IPA 蒸気洗浄装置

デバイス・ウエハ・ガラス・部品等、材質や形状を問わず 、高純度のIPA…

装置仕様：IPA を用いたウエハの洗浄及び乾燥 乾燥対象：６インチ　１カセット相当 　　　　　シリコン、ガラス、部品等 槽構成：ステンレス製蒸気乾燥槽１層 　　　　アルミヒートブロック間接加熱方式 装置寸法：幅1,050(mm)× 奥行1,200(mm)× 高さ2,...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

バッチ式洗浄装置

クリーン化技術・搬送／制御 技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗…

装　置　仕　様 【洗 浄 対 象】 ～12 インチカセット（※対象サイズはご相談ください） 【槽構成】 ローダー（水中も可）→処理槽（最大９槽）→アンローダー ※乾燥は上記乾燥方式により選定...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社