シミュレーションモデル『火力発電ライブラリ』

一つのモジュールで非定常状態と定常状態の両方のシミュレーションが可能！

『火力発電ライブラリ』は、火力発電所稼働のためのモデリング及び シミュレーションのフレームワークを提供しています。 さまざまなタイプの火力発電所のパフォーマンス解析ができ、 設計の初期段階にてマルチ設計や動的挙動の調査が容易にできます。 このモジュール一つで、非定常状態と定常状態の両方どちらも シミュレーションが可能です。 【特長】 ■設計、分析、検証のために幅広く部品モ...

メーカー・取り扱い企業： モデロン株式会社

【解析事例】CVDエッチングプロセス最適条件の探索

最適条件の探索に！多次元表示チャートの活用事例をご紹介！

詳細化学反応解析プログラムCHEMKINと連成した、 エッチングプロセス最適条件の探索事例をご紹介します。 問題設定としては、原料ガス供給量SCCM、酸素濃度を変化させ、 出口C2F6濃度、CF4濃度がそれぞれ最小となり、 エッチング速度最大(膜生成速度最小）となる操作点を探索しました。 計算の結果、具体的にC2F6濃度とエッチング速度はトレードオフの関係になる ことが明確とな...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IDAJ