角型ゲートバルブ『Gate valve T-Motion』

大型化するFPD基板(G11)に対応！横搬送共に無摺動を実現した角型ゲ…

『Gate valve T-Motion』は、バルブサイズ(幅×高さ)の制約無く装置設計者の 思いのままに設定可能な角型ゲートバルブです。 独自のバルブモーションにより、開閉速度を落とすことなく低振動化を 実現しました。 バルブサイズを超えた部品の共通化により、低価格な製品となっております。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ブイテックス 本社

『超高・高真空用バルブ 総合カタログ』※無料進呈中

半導体やFPDなどの製造プロセスに活躍！多様なニーズに応えるラインアッ…

いガス流量でも圧力制御可能な「APC Penduroll Valve」など お客様のご要望に応えるラインアップを掲載しています。 【掲載内容】 ◎超高・高真空用バルブのご案内 ◎搬送ゲートバルブ ◎排気系ゲートバルブ ◎オプション ※詳しくは資料をご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ブイテックス 本社

ゲートバルブ『True L-Motion Gate Valve』

微細化する半導体プロセスに対応！次世代型角型ゲートバルブのご紹介

『True L-Motion Gate Valve』は、低振動の次世代型角型ゲートバルブです。 OPEN/CLOSE動作時の低振動化のほか、新機構により低発塵化を 実現しました。 オプションにより、シール材質の変更や表面処理の追加が可能です。 【特長】 ■微細...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ブイテックス 本社