【納入事例】自動車部品リークテスト用 高真空排気ユニット

ターボ分子ポンプを主ポンプとした『高真空排気ユニット』の事例をご紹介し…

車輪のついたカートに 取り付けられています。また主ポンプ、補助ポンプともに空冷ポンプですので、 排気ユニットはAC100V入力のみで運転可能です。 カートに取り付けられたタッチパネル式コントローラで、真空計や スローリーク弁等の操作を含めたシステム全体の自動運転や各部位の マニュアル操作を行うことが出来ます。 グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプTG350Fは外部からの振動に強く...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2019に出展

ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプなど電子部品や半導体製造に必要なポン…

を作り上げるのに必要な真空ポンプにもIoT対応が出来るよう、当社は考えています。 今回は半導体向け真空ポンプを中心に、当社の豊富なラインナップから製品をご紹介いたします。 【製品】 ■コントローラ・電源一体型/磁気軸受形 ターボ分子ポンプ（反応性生成物対応仕様）：TGkine4200MI ■磁気軸受形 ターボ分子ポンプ、コントローラ：TGkine3400M-R、TC0331M［新製品］...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

ドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸受形とし、 メンテナンスフリー、オイルフリーで振動が極めて小さな排気が可能。 また吸気口フランジ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所