• 【分析事例】マイクロサンプリング法 製品画像

    【分析事例】マイクロサンプリング

    FIB:集束イオンビーム加工

    試料から直接小片を取り出し(マイクロサンプリング)、FIB加工を行うことができます。...

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  • 【分析事例】マイクロサンプリングツールを用いた異物分析 製品画像

    【分析事例】マイクロサンプリングツールを用いた異物分析

    下地・基板の影響なく異物の成分を同定します

    異物分析について、従来は下地の影響により顕微FT-IR分析やラマン分析では解析が困難でしたが、マイクロサンプリングツールの導入により、その影響を低減することが可能となりました。 2種の異物に関する解析例をご紹介します。...

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  • 【分析事例】プリント基板上有機物系異物の評価 製品画像

    【分析事例】プリント基板上有機物系異物の評価

    適切なサンプリングと顕微測定で異物周辺情報の影響を軽減

    サンプリングを併用した顕微FT-IR分析が有効な異物の評価事例を紹介します。 下地の影響がほとんど無い電極上異物はフラックスと同定されましたが、プリント基板上異物からは異物由来の情報が取得できませんでした(図1)。無機結晶上にサンプリングを行うことで異物の情報が得られ、異物はフラックスと同定されました(図2)。...

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  • 【分析事例】試料濃縮針による揮発性成分の濃縮分析 製品画像

    【分析事例】試料濃縮針による揮発性成分の濃縮分析

    GC/MS:ガスクロマトグラフィー質量分析法

    試料濃縮針はバイアル瓶やサンプリングバッグ中の揮発性成分を吸引して、針内部を通過する揮発性成分を吸着媒体に吸着させることで濃縮し、GC/MSに導入するためのデバイスです。「有機溶媒用」や「脂肪酸用」、「アミン用」などの吸着媒体があ...

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  • 【分析事例】GC/MSを用いた発生ガス分析及び高分子材料の同定 製品画像

    【分析事例】GC/MSを用いた発生ガス分析及び高分子材料の同定

    熱分解GC/MSの原理とアプリケーションについて

    量分析計です。 複雑な前処理が必要であった高分子材料についても、熱分解装置でサンプルを加熱分解することにより前処理無しでGCに導入して分析を行うことができます。 また、熱分解装置の温度条件とサンプリング条件を変えること(ダブルショット法)で、同一サンプルから添加剤と高分子材料のように異なった2種類の情報を別々に得ることができ、未知の高分子材料の解析が容易となります。...

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  • 【分析事例】PL・TEMによるSiCパワーデバイスの結晶欠陥評価 製品画像

    【分析事例】PL・TEMによるSiCパワーデバイスの結晶欠陥評価

    PLマッピングで検出した結晶欠陥の高分解能TEM観察

    陥を捉えることができます。 本事例では、市販のSiCパワーデバイスについてPLマッピングとSTEMを用いて調査を行いました。 PLマッピングにより積層欠陥位置を特定後、欠陥端部分についてμサンプリングを行い、断面STEM観察を実施しました。...

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  • 【分析事例】部品表面のシミ・水はじきの原因調査 製品画像

    【分析事例】部品表面のシミ・水はじきの原因調査

    切断できない大きな部品でも表面汚染を適切にサンプリングして測定

    Al材表面に水はじきのよいシミがあることがわかりました。そのシミ部をテープに付着(転写)させ、TOFSIMSで分析を行いました。 「シミ部を転写させたテープ表面」からは、「Al材表面のシミ部」と同じフラグメントが検出されており、シミの原因物質がテープに転写されているものと考えられます。このように、原因物質をテープに転写させて採取するこの方法は、切断ができない部品に有効です。...詳しいデータはカ...

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  • 【分析事例】室内空気環境測定事例 製品画像

    【分析事例】室内空気環境測定事例

    室内空気中のアルデヒド・VOC(揮発性有機化合物)の分析が可能です

    有機化合物(VOC:VolatileOrganic Compounds:トルエン、キシレン、パラジクロロベンゼン等)はシックハウス、シックスクール症候群の原因とされています。 パッシブ法によりサンプリングした室内空気中に含まれるホルムアルデヒド・トルエン濃度を分析した事例を紹介します。...

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  • 【分析事例】ウェハ・チップの特定箇所の前処理技術 製品画像

    【分析事例】ウェハ・チップの特定箇所の前処理技術

    目的箇所のみサンプリングし、ウェハを割らずにサンプル作製します

    ウェハ・チップを割らずに小片を抜き出して薄片化し、高分解能TEM観察・分析を行います。 さらに分析したい箇所を残してカットしてサンプルを作製することで、目的箇所をご要望のあらゆる方向からTEM観察・分析し、データをご提供します。高度なTEMサンプル作製技術を通じて、様々な観察・分析・評価ニーズにお応えします。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

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  • 【分析事例】劣化の激しい有機材料の状態評価 製品画像

    【分析事例】劣化の激しい有機材料の状態評価

    雰囲気制御下でのサンプリングで材料の正確な評価が可能です

    有機ELは自発光原理による高輝度、高精細カラー、薄型化等の利点があり、次世代デバイスの一つとして期待されています。特性向上、長寿命化、信頼性向上等には材料の正確な解析・評価が重要ですが、非常に活性な材料が使用されているため取り扱いには注意が必要です。大気暴露したサンプルと高純度アルゴン雰囲気下で取り扱ったサンプルの比較から、大気暴露で見られる酸化(分子イオン+O,+OH等)が高純度アルゴン雰囲気中...

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  • 【分析事例】プリント基板上有機物系異物の評価 製品画像

    【分析事例】プリント基板上有機物系異物の評価

    適切なサンプリングで異物周辺情報の影響を軽減

    ラマン分光分析は微小異物の定性分析に有効な手法です。異物の下地の情報も併せて検出してしまい評価が困難となる場合には、サンプリングを併用することにより測定が可能となります。 下地の影響のほとんど無い電極上異物はフラックスと同定されましたが、プリント基板上異物は異物由来の情報が取得できませんでした(図1)。下地の影響の無い...

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    【分析事例】リチウムイオン二次電池活物質の元素分析

    大気非暴露環境下で解体・サンプリングし、劣化・変質を抑えた測定が可能で…

    AES(オージェ電子分光法)ではサブミクロン以下の元素マッピング(面分析)が可能なため、3元系材料(Co, Mn, Ni)の元素分布を明確に確認することができます。また、バインダ・導電助剤由来の炭素の分布も高感度で測定することができます。今回、正極活物質について、装置導入までの一連の処理を大気非暴露環境(不活性ガス雰囲気)下で行い、変質を最小限に抑えた測定を行いました。その結果、大きい粒子はLiC...

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    【分析事例】リチウムイオン二次電池 Si負極の評価

    充電前後の電極の様子およびLiの存在・分布を評価可能

    極活物質の候補の一つですが、充放電時の非常に大きな体積変化のためにサイクル劣化が激しいと言われています。 充電前後のSi負極に関して雰囲気制御環境下で解体、観察をしました。更に、FIBマイクロサンプリング法により断面観察用サンプルを作成し、Csコレクタ付きSTEM装置で形状観察とEELS測定を行い、Si電極の様子と電極中のLi分布を評価しました。...

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  • 【分析事例】リチウムイオン二次電池 電解液の溶媒及び添加剤の評価 製品画像

    【分析事例】リチウムイオン二次電池 電解液の溶媒及び添加剤の評価

    電解液のサンプリングから定性・定量評価が可能

    リチウムイオン二次電池の電解液をGC/MSを用いることで、定性・定量を行うことが出来ます。 以下の例では、有機系溶媒としてエチレンカーボネート(EC)やエチルメチルカーボネート(EMC)、添加剤としてビニレンカーボネート(VC)を同定したものです。また溶媒の組成比及び添加剤の含有量を求めることも可能です。なお、添加剤としては、このほかにフルオロエチレンカーボネート(FEC)、エチレンサルファイト...

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