ダイレクト露光装置

幅広く応用できる！アライナとしての機能のほか、ハーフトーン露光が可能で…

また多重露光によって階調数を任意に増加させることも可能 ■標準ファイルフォーマット：Windowsbmpファイル 　（白黒2値：1ビット、中間調255値：8ビットデータ） ■x、yステージ：シグマ光機製SGSP46-300 （最大移動量300mm、位置決め精度25㎛以下、繰り返し精度6㎛以下）－仕様変更可能 ■露光ステージ：φ6"、真空吸着 ■露光面を観察しアライメントを行うため、全...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ユメックス