シリコン中の不純物分析におけるふっ酸、硝酸を用いた分解の検討

ふっ酸ガスの人への曝露を最小限に抑え作業環境を改善！作業時間短縮にも貢…

当技術資料は、酸添加等自動前処理装置「DEENA」を用いて 半導体等原料のシリコン分解（溶融）における、ふっ化水素酸・ 硝酸を用いた自動前処理について考察しています。 半導体原料等におけるシリコン（金属シリコン、Si 単体）の含有成分や 不純物分析を行う際には、ふっ化...

メーカー・取り扱い企業： ビーエルテック株式会社