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異物付着や持込異物の抑制に
あるいはハンドヘルドターミナル5571を利用、 あるいはPCよりIon Managerソフトウェアを利用 イオン発生タイミング:最小0.1sec 最大10sec 正負 別個に設定可能 電極:単結晶シリコン(5515U)、交換可能 オゾン発生量:<0.005ppm 対応クリーン度:5515U:ISO Class1 寸法:高さ31mm×奥行36mm×長さ445mm ロッド長:64~1524mm 重量:...
メーカー・取り扱い企業: 伸榮産業株式会社 本社、関東営業所
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