『薄膜パターン形成加工』

多種多様の膜構成、エッチングパターンの作成が可能な加工技術『薄膜パター…

■概要 各種フィルム基板（ポリイミド、PET、PEN等）、ガラス、Si基板上への各種金属膜・ITO膜のパターン形成加工を行います。 これまで蓄積してきた薄膜形成技術とエッチング技術を組み合わせることで、これまで想定することができなかった多種多様の膜構成、エッチングパターンの作成が可能です。 成膜条件、パターン条件を正確に調整することにより、最薄7.5μmのフィルム基板に成膜・パターン形成の実...

メーカー・取り扱い企業： ジオマテック株式会社