• 真空配管設備 ヒータージャケットシステム [配管設備温度調節] 製品画像

    真空配管設備 ヒータージャケットシステム [配管設備温度調節]

    配管設備における温度調節を低価格で実現し、メンテナンスコスト節減!配管…

    半導体、FPDの製造に用いられる特殊ガスは、温度の低下に伴い酸化・窒化する性質があるため、使用後、排ガス処理装置へ送る配管内においても、一定の温度を保ったまま排出しないと、酸化・窒化した固形物が配管内に残存し、配管をふさいでしまいます。 テクノフレックスのヒータージャケットシステムは、こうした特殊ガスの配管設備における温度調節を低価格で実現し、長期のランニングによる配管洗浄の手間といったメンテナン...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノフレックス

  • フレキシブル ジャケットヒーター 製品画像

    フレキシブル ジャケットヒーター

    ガス供給、装置排気、ポンプ排気、除害装置配管のヒーティングソリューショ…

    『フレキシブル ジャケットヒーター』は、半導体配管の最適化アイテムとして、 副生成物付着防止、供給ガスのヒーティングシステムです。 多重絶縁構造のアース付きフレキシブル発熱エレメントは安全性が高く丈夫で、 専用の温...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社東京興業貿易商会 本社

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